| 平面霍尔效应传感器的原理与研究进展 |
| [发布日期：2011-09-01 点击次数：1459] |
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摘要：陈栖洲，汪学锋，张怀武，钟智勇
（电子科技大学 电子薄膜与集成器件国家重点实验室，四川成都 610054）
摘 要：首先简要介绍了铁磁材料平面霍尔效应（PHE）的原理，然后介绍了基于平面霍尔效应的传感器的研究进展。其中包括传感器尺寸及形状的变化和材料的改进、制作工艺及流程。接着介绍了PHE传感器的几种典型结构，总结了温度、铁磁层薄膜厚度等对传感器灵敏度的影响。最后，讨论了目前存在的问题及发展前景。
关键词：平面霍尔效应；传感器；原理；结构；性能
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